Plasma Agent Platform
하나의 물리 엔진,
세 가지 에이전트
같은 엔진이 설계·공정·장비의 질문에 각각 답한다
특허출원 10-2026-0194058
상표출원 Plasma Agent · Plasma Agency
지금
R&D Agent
소스를 만들기 전에 설계안을 고른다
장비사 · 대학 · RF 부품사 — 공정 데이터 없이
다음
Process Optimization
레시피에서 공정 결과를 예측하고 추천한다
소자 업체 · 장비사 공정팀 — 웨이퍼 데이터 보정
마지막
Machine Control
장비 옆에서 레시피를 지키고 바로잡는다
장비사 — 공동 개발
같은 엔진 · 다른 용도
TWIN LAYER
Plasma Agency
측정에 맞추고, 결과를 추천한다
Calibration측정으로 보정
Process Models플라즈마 → 공정 결과
Recommender공정 창 · 추천 · 승인
PHYSICS ENGINE
Plasma Agent
형상·조건 → 플라즈마 상태, 0.2초
Database단면적 · 반응률
Source Modules코일 · 전극 · 리모트
0-D Global Model밀도 · 온도 · 라디칼
Radial Profile기판면 분포